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行業(yè)動(dòng)態(tài)

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檢漏儀內(nèi)的質(zhì)譜儀

發(fā)布時(shí)間:2017-08-08    點(diǎn)擊次數(shù):

 【摘要】多年來,氦氣泄漏檢測已經(jīng)成為各種應(yīng)用領(lǐng)域測試氣密性的方法。 與其他氣密性測試方法相比,它的高靈敏度、測量的可靠性以及易 重復(fù)性是最有力的優(yōu)勢。

多年來,氦氣泄漏檢測已經(jīng)成為各種應(yīng)用領(lǐng)域測試氣密性的方法。 與其他氣密性測試方法相比,它的高靈敏度、測量的可靠性以及易 重復(fù)性是最有力的優(yōu)勢。 對于檢測測試氣體,普發(fā)真空提供基于質(zhì)譜原理的檢漏儀。質(zhì)譜儀 對混合氣體進(jìn)行電離,并在其質(zhì)荷比的基礎(chǔ)上分離出所需的示蹤氣 體。由于質(zhì)譜儀的低檢測限,普發(fā)真空檢漏儀的高靈敏度得以保 證。

       質(zhì)譜儀是檢漏儀的核心部分
      我們所稱呼的“質(zhì)譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核心部分。氣體從檢漏 儀的入口被導(dǎo)入質(zhì)譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進(jìn)行撞擊(圖 1,紫色)。電子束利用金屬絲在高溫下產(chǎn) 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊,它會從電子層脫出。結(jié) 果,帶正電的氣體粒子—離子—留了下來。大部分導(dǎo)入的氣體粒子
被電子之間的碰撞電離。

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